仪器商品分类

    光刻胶匀胶机

    光刻胶匀胶机通过高速旋转基片,利用离心力使光刻胶均匀铺展在表面。用于半导体制造中涂覆光刻胶薄膜,确保后续光刻图案精度。
    仪器选型
    选择时考虑基片尺寸匹配转速范围,检查匀胶厚度控制精度,评估溶剂兼容性与排气系统,参考设备稳定性和维护成本。

    术语

    检测仪器

    800ppm浓度精准稳定,光阻包装防止紫外线氧化,单独包装便于现场使用,有效期长达5年,温控环境生产确保数据可靠性。

    ¥ 500.00

    支持0~10000rpm转速与200℃加热,具备5段匀胶曲线编程功能,聚四氟腔体配合干式机械泵确保工艺稳定性。

    ¥ 34000.00

    采用聚四氟腔体耐腐蚀,最高转速达8000rpm,支持程控匀胶曲线存储,小型化设计节省空间,适用于多种基片涂覆。

    ¥ 12500.00

    转速范围0~10000rpm,加热温度可达200℃,采用智能温控和触控屏预设匀胶曲线,简化操作流程并确保薄膜均匀性。

    ¥ 38000.00

    转速范围0~10000rpm,加热温度可达200℃,采用触控屏预设匀胶曲线,支持直径≤8英寸基片,简化操作流程提升成膜均匀性。

    ¥ 38000.00

    采用精密电机实现10000rpm转速,支持5段匀胶曲线预设,配备7寸触控屏简化操作,适用于直径≤8英寸基片,保障薄膜均匀涂覆。

    ¥ 15000.00

    小型化设计结合铝合金结构与304不锈钢腔体,最高转速达8000转/秒,支持程控匀胶和储存多条曲线,适用于直径≤4英寸基片。

    ¥ 8500.00

    小型化设计配备精密电机,最高转速达10000rpm,加速度范围100-5000rpm/s,支持5段曲线存储功能,透明腔体便于观察涂覆过程。

    ¥ 8600.00

    小型化设计配备PP腔体,最高转速达8000转/秒,支持程控匀胶曲线存储,适用于直径≤4英寸基片,操作简便。

    ¥ 9500.00

    采用精密电机确保成膜均匀,转速范围0-10000rpm,加速度100-5000rpm/s,支持预设匀胶曲线和触控屏操作,简化使用流程。

    ¥ 16600.00