产品概述
WH-SC-01匀胶机是一款台式旋涂仪，适用于半导体工艺、制版及表面涂覆等工艺。该产品可在科研、教学等单位使用，具有独立知识产权，能够保证涂膜厚度的一致性和均匀性。
产品特色
1. 采用全触摸屏控制，操作便捷。
2. 具备三档转速，转速及相应时间分别可调，实现启停可控。
3. 转速实时显示，便于观察。
4. 配置“安全开关”，高速运转时关上上盖后自动启动，运行中上盖无法打开，提供安全保护。
5. 适用于Φ28~Φ200mm硅片及其他材料的匀胶。
工作原理
仪器通过电机驱动样品台旋转。启动后，先在低速下进行匀胶，使胶液初步铺展；然后切换至高速进行甩胶，利用离心力将多余的胶液甩出，从而在基片表面形成均匀的薄膜。转速和时间可独立设定，以控制薄膜的厚度和均匀性。
操作步骤
1. 通过触摸屏设置所需的转速和时间参数。
2. 将待涂覆的基片（如硅片）放置在样品台上。
3. 滴加适量的胶液。
4. 关闭仪器上盖，触发安全开关。
5. 启动仪器，仪器将按预设程序先低速匀胶，后高速甩胶。
6. 运行结束后，打开上盖，取出样品。
注意事项
• 仪器需在温度0~40℃、相对湿度＜80%的环境下工作。
• 电源电压为AC220V±10V，50HZ，请确保供电符合要求。
• 高速运转时，务必关闭上盖，安全开关启动后切勿强行打开。
• 根据工艺需求，可选购无油真空泵作为选配件以固定基片。
