产品概述
WH-SC-01匀胶机是一款台式旋涂仪,适用于半导体工艺、制版及表面涂覆等工艺。该产品可在科研、教学等单位使用,具有独立知识产权,能够保证涂膜厚度的一致性和均匀性。
产品特色
1. 采用全触摸屏控制,操作便捷。
2. 具备三档转速,转速及相应时间分别可调,实现启停可控。
3. 转速实时显示,便于观察。
4. 配置“安全开关”,高速运转时关上上盖后自动启动,运行中上盖无法打开,提供安全保护。
5. 适用于Φ28~Φ200mm硅片及其他材料的匀胶。
工作原理
仪器通过电机驱动样品台旋转。启动后,先在低速下进行匀胶,使胶液初步铺展;然后切换至高速进行甩胶,利用离心力将多余的胶液甩出,从而在基片表面形成均匀的薄膜。转速和时间可独立设定,以控制薄膜的厚度和均匀性。
操作步骤
1. 通过触摸屏设置所需的转速和时间参数。
2. 将待涂覆的基片(如硅片)放置在样品台上。
3. 滴加适量的胶液。
4. 关闭仪器上盖,触发安全开关。
5. 启动仪器,仪器将按预设程序先低速匀胶,后高速甩胶。
6. 运行结束后,打开上盖,取出样品。
注意事项
• 仪器需在温度0~40℃、相对湿度<80%的环境下工作。
• 电源电压为AC220V±10V,50HZ,请确保供电符合要求。
• 高速运转时,务必关闭上盖,安全开关启动后切勿强行打开。
• 根据工艺需求,可选购无油真空泵作为选配件以固定基片。