产品概述
诺巴迪NBD-HR1200-110IT-170快速退火炉（RTP）是一款在吸收国际先进制造工艺基础上自主研发的设备，拥有独立的发明专利。该设备具备极快的升温速率（500℃/S），并能在工艺结束后直接从高温区取出试样，实现物理状态下的最快降温。其采用冷壁工艺，在绿色节能环保的基础上实现了试样的极速升降温。腔体采用内管进气、外管出气的双层结构，使反应气氛与加工样品充分均匀接触，是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的理想工具。测温元件直接接触试样，保证了温度测量的精准性。
产品特色
1. 极速升温500℃/S，极速降温100℃/S。
2. 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀。
3. 直接测量样品表面温度，测温更精准。
4. 炉膛根据设置可自动左右移动，可以满足更多的实验应用。
5. 丰富的扩展接口，能够满足各类试验的需求。
工作原理
该设备采用快速热处理（RTP）技术，通过高效的加热系统实现极速升温。其独特的双层炉管结构（内管进气、外管出气）确保了反应气氛在样品区域均匀流动和充分接触。工艺结束后，利用冷壁工艺和直接从高温区取出试样的方式，实现物理状态下的快速降温。测温元件直接与试样接触，实时精确反馈样品表面温度。
应用领域
快速热退火（RTA）、离子注入后退火、石墨烯等气象沉积、碳纳米管等外延生长、快速热氧化（RTO）、热氮化（RTN）、硅化、扩散、离子注入后退火、电极合金化、晶向化和坚化
