产品概述
54X三目工业检测显微镜是上光六厂针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业开发的一款工业显微镜。它采用优等的无限远校正光学系统,图像清晰,衬度好,配有大移动范围载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜及大视野目镜,可进行明暗场、落射偏光和微分干涉观察。该显微镜三目镜管可连接摄像装置与电脑,配合软件可成为微机型工业检测显微镜。
产品特色
1. 采用优等的无限远校正光学系统,图像清晰,衬度好。
2. 配备大移动范围载物台(移动范围250×250mm),便于大尺寸样品观察。
3. 配置落射照明系统,带孔径光栏和视场光栏,亮度可调。
4. 采用平场无限远长工作距离明暗场物镜,工作距离长,便于操作。
5. 提供五孔物镜转换器,带DIC、明暗场插孔,功能切换便捷。
6. 调焦系统采用粗微动同轴设计,微动格值精细(0.002mm)。
7. 三目镜管设计,可方便连接摄像装置和电脑,扩展为图像分析系统。
工作原理
该显微镜基于无限远校正光学系统,光线通过物镜后形成平行光束,经镜筒透镜后成像。落射照明系统提供光源,光线通过物镜照射到样品表面,反射光再经物镜进入光路成像。通过物镜转换器切换不同倍率物镜,并结合明场、暗场、偏光或微分干涉(DIC)插件,改变照明与成像方式,从而实现对样品表面不同特征的观察与分析。
应用领域
半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业、工厂、研究机构、高等院校、用于硅片、电路基板、裂缝探究、精密模具的监测分析
操作步骤
1. 开启落射照明系统电源,调节亮度。
2. 将样品放置于玻璃工作台上并固定。
3. 通过粗微动同轴调焦手轮进行初步调焦。
4. 旋转物镜转换器,选择所需放大倍率的物镜。
5. 根据观察需求,移入或移出起偏镜、检偏镜(偏光观察)或DIC、暗场插件。
6. 精细调节微动手轮,直至图像清晰。
7. 若需记录或分析,通过三目镜管连接摄像装置与电脑,启动相应软件进行操作。
注意事项
* 移动载物台时请轻柔操作,避免超出其移动范围(250×250mm)。
* 切换物镜时,请旋转转换器而非直接扳动物镜,以免损坏光轴对齐。
* 调节照明亮度时,请勿将亮度瞬间调至最高,以延长卤素灯寿命。
* 使用微分干涉(DIC)或偏光装置时,请确保相应插件正确插入光路。
* 显微镜重量约35Kg,移动或搬运时需注意安全,防止倾倒。
* 清洁光学部件时,请使用专用的镜头纸和清洁剂,避免划伤镜片。