产品概述
匀胶机是一种用于涂覆薄膜、涂胶液或其他液体材料在基片表面上的设备,其工作原理基于离心力。匀胶机在半导体制造、光学涂层、材料科学等领域具有重要应用,特别是在制备薄膜、涂覆光刻胶等工艺中。12AC匀胶机是一款触摸显示屏的实验匀胶机,固定加速度,通过A/K选择Kx试运行可自动修正转速,可选配真空泵。
产品特色
1. 匀胶效率高,使用方便
2. 匀胶速度、时间分多个时段,并分别无级可调
3. 电器线路可靠,电机运转平稳,特别是电机转矩大,优于同类产品
4. 吸片采用电磁阀控制气路,适合流水线工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率
5. 涂覆均匀性好,能够实现高质量的薄膜或涂层
6. 工艺可控性强,提供丰富的参数调节选项
7. 应用广泛,适用于光刻胶及其他各类胶液、液体材料的涂覆
8. 旋转速度范围宽,从低速到高速都可调节
9. 配备真空吸附系统,确保基片牢固固定
10. 提供自动控制选项,可通过编程预设涂覆参数
工作原理
匀胶机的工作原理是通过将胶液滴在旋转的基片上,然后通过旋转运动使胶液在基片表面均匀分布,形成薄膜或涂层。离心力会将胶液从中心向外边界扩散,最终形成均匀的涂层。匀胶机的旋转速度和时间以及胶液的粘度等参数会影响薄膜或涂层的厚度和均匀性。
应用领域
半导体制造、光学涂层、材料科学、光刻胶涂布、涂硼、聚合物涂层、薄膜制备
操作步骤
1. 通过A/K选择Kx试运行
2. 系统自动修正转速
3. 回到Kx使用
4. 根据需求调整旋转速度、旋转时间等参数
5. 启动匀胶程序进行涂覆
注意事项
• 真空输入要求为0.06-0.09MPa
• 真空流量最小15升/Min以上
• 选择合适的装片直径(5/10/20/30....100mm)
• 注意电源电压为AC200-230V,单相
• 选配真空泵重量为5KG