产品概述
12Az匀胶机是慧诺品牌的一款液晶显示屏实验匀胶机,用于涂覆薄膜、涂胶液或其他液体材料在基片表面。该设备基于离心力原理工作,匀胶时间0~240s,配备四段速度控制器,可选配真空泵。广泛应用于半导体制造、光学涂层、材料科学等领域,特别是在光刻胶涂布、涂硼等工艺过程中。
产品特色
1. 匀胶效率高,使用方便
2. 匀胶速度、时间分多个时段,并分别无级可调
3. 电器线路可靠,电机运转平稳,电机转矩大
4. 吸片采用电磁阀控制气路,适合流水线工艺
5. 涂覆均匀性高,通过离心力实现高质量薄膜或涂层
6. 工艺可控性强,提供丰富的参数调节选项
7. 应用广泛,适用于光刻胶及其他各类胶液涂覆
8. 旋转速度范围宽,从低速到高速可调节
9. 配备真空吸附系统,确保基片稳定固定
10. 提供自动控制选项,可通过编程预设涂覆参数
工作原理
匀胶机的工作原理是通过将胶液滴在旋转的基片上,然后通过旋转运动使胶液在基片表面均匀分布,形成薄膜或涂层。离心力会将胶液从中心向外边界扩散,最终形成均匀的涂层。匀胶机的旋转速度和时间以及胶液的粘度等参数会影响薄膜或涂层的厚度和均匀性。
应用领域
半导体制造、光学涂层、材料科学、光刻胶涂布、涂硼工艺、聚合物涂层、薄膜制备
操作步骤
1. 将基片放置在匀胶机托盘上
2. 启动真空吸附系统固定基片
3. 通过程序控制选择预设涂覆参数
4. 将胶液滴在旋转的基片上
5. 设置旋转速度和时间参数
6. 启动匀胶程序进行涂覆
7. 完成涂覆后取出基片
注意事项
• 操作前确保设备电源电压符合AC200-230V要求
• 使用前检查真空吸附系统是否正常工作
• 根据基片直径选择合适的装片尺寸
• 涂覆前确认胶液粘度和滴液位置参数
• 旋转过程中避免触碰运动部件
• 定期检查电机运转状态和电器线路
• 多台设备共用气泵时需合理分配气路
• 程序设置时注意各速度段的时间分配