产品概述
慧诺10A-4触屏四工位匀胶机是一款专为硅片匀胶设计的设备，配备4个独立工位，支持直径5-100mm（标配2个）硅片处理，采用4.3寸电阻触屏控制，具有自动匀胶过程、软启动和排风功能。
产品特色
1. 配备4个独立工位，每个工位均带吸盘固定硅片，支持直径40mm（可选5-100mm）硅片匀胶。
2. 转速控制范围100-7000转/分，精度±1%，软启动无级可调，加速度设定范围100-3000转/秒。
3. 时间控制范围0-3000秒，精度±0.1%，可预存12组工艺参数，每组5段。
4. 自动控制匀胶过程，手动放硅片后按开始键完成操作。
5. 工作台带排风功能，真空与旋涂互锁，确保安全运行。
6. 每个工位采用4.3寸电阻触屏显示和控制，带保护膜。
7. 空气净化采用HEPA高效过滤技术，净化率99.99%，净化功能1000立方米每小时。
工作原理
设备通过工位上的吸盘固定硅片，采用软启动方式控制转速，从0加速至设定转速（加速时间3-80秒），通过预存工艺参数自动执行匀胶过程，真空与旋涂互锁确保操作安全，同时工作台排风和空气净化系统维持洁净环境。
操作步骤
1. 手动放置硅片到工位吸盘上。
2. 通过触屏选择或设置工艺参数。
3. 按下开始键，设备自动完成匀胶过程。
4. 匀胶结束后取出硅片。
注意事项
• 确保电源电压为AC200-230V单相。
• 操作时注意真空与旋涂互锁功能，避免误操作。
• 定期检查过滤器和排风系统，保持设备清洁。
• 使用前确认硅片直径在5-100mm范围内。
• 避免在非指定环境下使用，以防影响净化效果。
