产品概述
英佳12AC-6触摸屏匀胶机是一款高性能实验室旋涂设备，支持100-4000RPM宽速率范围和0.1秒级时间分辨率，确保匀胶精准稳定；配备多达12组程序，便于多场景应用；具备自动转速修正功能，操作简便高效；设备结构紧凑，重量仅14KG，附带真空接口，兼容多种实验需求，适合科研实验与精密制造领域。
产品特色
1. 支持100-4000RPM宽速率范围，确保匀胶精准稳定。
2. 时间分辨率达0.1秒级。
3. 配备多达12组程序，便于多场景应用。
4. 具备自动转速修正功能，操作简便高效。
5. 设备结构紧凑，重量仅14KG。
6. 附带真空接口，兼容多种实验需求。
工作原理
该匀胶机通过程序控制电机旋转，使放置在转盘上的基片（如圆形6英寸晶圆）在设定转速（100-4000RPM）和匀胶时间（最长3000秒）下高速旋转，利用离心力将滴加在基片上的胶液均匀铺展成膜。设备支持通过真空接口吸附固定基片，并可通过自动转速修正功能确保旋转速度的准确性。
操作步骤
1. 连接电源（AC200-230V）与真空源（压力0.06-0.09MPa，流量40升/Min以上）。
2. 将基片放置于转盘上，通过真空吸附固定。
3. 在触摸屏上选择或编辑程序（最多12组，支持1-5段控制）。
4. 设定匀胶速度（100-4000RPM）、时间（最长3000秒，分辨率0.1秒）等参数。
5. 启动设备进行匀胶。
6. 如需进行转速修正，可通过“A/K选择Kxi试运行”功能自动修正转速，再回到“Kx”模式使用。
注意事项
• 请确保电源电压在AC200-230V范围内。
• 真空源需满足压力0.06-0.09MPa、流量40升/Min以上的要求。
• 设备最大支持6英寸圆形基片。
• 使用前请确认程序参数设置正确。
• 设备不含真空泵，需另行选配。
• 注意设备外形尺寸（250*420*230mm，不含锅高度）与重量（主机14KG）。
