产品概述
英佳12AC-6触摸屏匀胶机是一款高性能实验室旋涂设备,支持100-4000RPM宽速率范围和0.1秒级时间分辨率,确保匀胶精准稳定;配备多达12组程序,便于多场景应用;具备自动转速修正功能,操作简便高效;设备结构紧凑,重量仅14KG,附带真空接口,兼容多种实验需求,适合科研实验与精密制造领域。
产品特色
1. 支持100-4000RPM宽速率范围,确保匀胶精准稳定。
2. 时间分辨率达0.1秒级。
3. 配备多达12组程序,便于多场景应用。
4. 具备自动转速修正功能,操作简便高效。
5. 设备结构紧凑,重量仅14KG。
6. 附带真空接口,兼容多种实验需求。
工作原理
该匀胶机通过程序控制电机旋转,使放置在转盘上的基片(如圆形6英寸晶圆)在设定转速(100-4000RPM)和匀胶时间(最长3000秒)下高速旋转,利用离心力将滴加在基片上的胶液均匀铺展成膜。设备支持通过真空接口吸附固定基片,并可通过自动转速修正功能确保旋转速度的准确性。
操作步骤
1. 连接电源(AC200-230V)与真空源(压力0.06-0.09MPa,流量40升/Min以上)。
2. 将基片放置于转盘上,通过真空吸附固定。
3. 在触摸屏上选择或编辑程序(最多12组,支持1-5段控制)。
4. 设定匀胶速度(100-4000RPM)、时间(最长3000秒,分辨率0.1秒)等参数。
5. 启动设备进行匀胶。
6. 如需进行转速修正,可通过“A/K选择Kxi试运行”功能自动修正转速,再回到“Kx”模式使用。
注意事项
• 请确保电源电压在AC200-230V范围内。
• 真空源需满足压力0.06-0.09MPa、流量40升/Min以上的要求。
• 设备最大支持6英寸圆形基片。
• 使用前请确认程序参数设置正确。
• 设备不含真空泵,需另行选配。
• 注意设备外形尺寸(250*420*230mm,不含锅高度)与重量(主机14KG)。