产品概述
CY-SP-04-HT高通量超声波热解喷涂机是一种通过加热表面喷涂溶液沉积薄膜的设备,适用于在基板上形成化合物薄膜,特别适用于氧化物沉积、钙钛矿薄膜和电池电极的制备。该系统可携带三种溶液,编程涂覆直径最大18mm的不同组合物,基板多达36个位置,涂层室可抽真空,支持受控气氛下喷雾裂解,是一种智能设备,用于快速探索新一代材料。
产品特色
1. 高通量喷雾热解系统,支持三种溶液混合和涂布。
2. 编程涂覆直径最大18mm,基板多达36个位置。
3. 涂层室可抽真空,允许在受控气氛下进行喷雾裂解。
4. 包括压缩空气喷嘴和超声波喷头,适用于不同粘度溶液。
5. 配备四个注射泵,三种用于溶液混合涂布,一种用于清洗。
6. 注射泵线速度可调范围1μm/min至120mm/min,精度高。
7. 控制方式灵活,支持自我数字控制面板或主触摸屏控制。
工作原理
该设备通过在加热表面上喷涂溶液来沉积薄膜,成分在表面发生反应形成化合物。喷雾热解过程涉及将溶液雾化并喷涂到基板上,在受控气氛下通过热解反应形成均匀薄膜。
操作步骤
1. 准备溶液并装入注射泵。
2. 设置编程参数,包括涂覆直径和组合物。
3. 将基板放置在指定位置。
4. 启动系统,控制注射泵线速度和压力。
5. 进行喷雾热解涂覆过程。
6. 完成后使用清洗泵进行设备清洗。
注意事项
• 确保输入电压在208-240V范围内,频率50/60Hz。
• 使用超声波喷头时,溶液粘度应小于30 cps。
• 操作时注意注射泵精度,当大于30%满量程时精度为≤±0.5%。
• 设备重量约1000公斤,需确保放置稳固。
• 涂层室可抽真空,操作时需遵循受控气氛要求。