产品概述
CY-SPC8-E 加热型匀胶机是一款采用全铝合金腔体的实验室设备,兼具美观与坚固性。该仪器配备先进的精密电机,最高转速可达10000转/分,有效保障成膜均匀性。除了基础的旋涂功能,它还集成了加热组件,最高可加热至200℃,并通过智能温控表实现精准控温与可控升温。操作方面,采用7寸高清LCD触控屏控制,可预设匀胶曲线,简化了操作流程,降低了学习成本。
产品特色
1. 采用全铝合金腔体,美观坚固。
2. 配备先进精密电机,最高转速可达10000转/分,保障成膜均匀性。
3. 集成加热组件,最高加热温度达200℃,由智能温控表精准控温,升温过程可控。
4. 采用7寸高清LCD触控屏控制,可预设和储存匀胶曲线,操作简便,学习成本低。
5. 适用基片直径最大为8英寸(200mm),兼容性强。
6. 配备干式机械真空泵,抽气速率达50L/min。
工作原理
该匀胶机通过精密电机驱动承载基片的托盘高速旋转,利用离心力将滴加在基片上的液态或胶体材料均匀铺展,从而形成薄膜。在旋涂过程中,可同时启动加热功能,通过上盖加热组件对基片及涂覆材料进行加热,并由智能温控系统精确控制温度,以适配不同材料对成膜工艺的温度要求。
应用领域
光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜
操作步骤
1. 将待涂覆的基片(如硅片、晶体、石英、陶瓷等,直径≤8英寸)固定在设备托盘上。
2. 通过触控屏预设或选择所需的匀胶曲线(每条曲线最多5段,共可储存5条)。
3. 手动将液态或胶体材料滴加到基片中心(可选购精密注射泵实现自动滴胶)。
4. 启动设备,真空泵工作吸附固定基片,电机按预设的加速度和转速程序带动托盘旋转,进行匀胶。
5. 如需加热,可通过触控屏设定目标温度(室温至200℃),启动加热功能。
6. 匀胶过程结束后,设备停止,取出已形成薄膜的基片。
注意事项
* 使用前请确认电源电压为AC220V 50/60Hz。
* 操作时请确保基片直径不超过8英寸(200mm)。
* 手动滴胶时需注意滴加量及位置,以保证成膜均匀性。
* 加热功能开启时,请勿触摸加热部位,以防烫伤。
* 设备抽气接口为Φ6mm快拧接口,连接管路时请确保密封良好。
* 清洁和维护设备前,请务必断开电源。
* 请勿在设备运行时进行任何非必要的调整或触碰旋转部件。