产品概述
本加热型匀胶机主要利用离心涂覆原理将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，该工艺在材料研究领域有着广泛的应用。本加热型匀胶机的工作腔体为聚四氟（塑料王）材质，具有优良的化学稳定性和极强的耐腐蚀性，已广泛应用于各种需要抗酸碱和有机溶剂的场合。
产品特色
1. 采用聚四氟（塑料王）材质腔体，具有优良的化学稳定性和极强的耐腐蚀性
2. 安装有真空数字传感器，涂敷过程中可实时检测系统真空度
3. 控制器必须在合适的真空度下电机才可以正常启动和运行，可靠吸片并杜绝飞片事故
4. 加热温度可达200℃，采用AIP智能控温方式
5. 配备7寸高清LCD触控屏人机界面
6. 支持手动滴胶，可选购精密注射泵
7. 匀胶曲线每条曲线5段，共可储存5条曲线
8. 转速范围0~10000rpm，加速度100~5000rpm/s，转速分辨率1rpm
9. 支持直径≤8英寸（200mm）基片处理
工作原理
本加热型匀胶机主要利用离心涂覆原理，通过电机旋转产生的离心力将液态或胶体材料均匀涂覆在基片上形成薄膜。涂敷过程中通过真空数字传感器实时检测系统真空度，确保在合适的真空度下电机正常启动和运行，实现可靠吸片并防止飞片事故发生。
应用领域
材料研究、硅片处理、晶体加工、石英基片、陶瓷基片
操作步骤
1. 将基片放置在匀胶机腔体内
2. 通过真空系统建立合适的真空度
3. 手动滴胶或使用精密注射泵添加液态或胶体材料
4. 设置匀胶曲线参数（转速、加速度、时间等）
5. 启动电机进行离心涂覆
6. 完成涂覆后停止设备，取出基片
注意事项
• 必须在合适的真空度下才能启动和运行电机
• 基片尺寸不得超过直径8英寸（200mm）
• 加热温度不得超过200℃
• 使用前确保电源电压为AC220V，50Hz
• 定期检查真空系统工作状态
• 操作时注意安全防护
