产品概述
SCK-EZ4-PP 旋涂仪采用优质直流无刷电机,运行平稳、控速精准,支持多段程序运行,可灵活适配不同工艺需求。设备搭载可视化液晶操作界面,支持中英文切换,操作简单便捷。机身选用PP材质腔体,搭配可拆洗防腐透明上盖,清洁维护方便,还可按需更换多种腔体材质、定制不同规格真空托盘与卡盘,也能加装可调式自动注胶系统。整机体积小巧、重量轻便,广泛适用于4英寸及以内圆形基片的匀胶作业。
产品特色
1. 4英寸PP腔体全自动实验室匀胶机
2. 外型小巧,适合手套箱内操作
3. 耐腐蚀透明盖,恒定扭矩定位较链
4. 一体开模内腔,易拆卸清洗,方便更换
5. 液晶文本显示彩色面膜按键,简单易用
6. 加减速度可控可调,可设置多步程序运行控制
7. 直流无刷电机,最大推荐旋涂尺寸:4寸圆形底物
工作原理
SCK-EZ4-PP 旋涂仪通过直流无刷电机驱动旋转,在基片表面均匀涂布液体材料。设备通过精确控制旋转速度、加速度和运行时间,实现多步程序运行,以适应不同工艺要求。液料在离心力作用下均匀分散在基片表面,形成均匀薄膜。
应用领域
高校实验室、科研机构、企业,微电子、光电材料、有机薄膜、化学材料、生物材料领域的样品制备与工艺研发
操作步骤
1. 安装并固定旋涂仪,连接电源
2. 打开耐腐蚀透明上盖,放置基片在真空托盘上
3. 根据工艺需求设置多段程序参数(转速、加速度、时间等)
4. 通过液晶面板选择中英文界面,确认参数
5. 启动程序,设备自动执行旋涂操作
6. 程序结束后,等待腔体停止旋转,打开上盖取出基片
7. 清洁腔体和上盖,准备下一次操作
注意事项
- 仅适用于4英寸及以内圆形基片
- 操作前确保真空托盘与基片贴合良好
- 使用腐蚀性涂料时需佩戴防护装备
- 定期清洗腔体和上盖以防残留物积累
- 更换腔体材质或加装自动注胶系统需由专业人员操作
- 避免在超过额定转速或时间参数下运行
- 存放时应远离潮湿和腐蚀性环境