产品概述
SCK-EZ4-PMMA亚克力旋涂仪采用亚克力透明腔体，机身轻便、可视化效果好，内腔可拆洗，日常清洁维护便捷。设备配备4.3英寸液晶显示屏，支持中英文切换与多段程序设置，搭载直流无刷电机，控速精准、匀胶精度高，运行稳定，适合常规薄膜匀胶实验使用。
产品特色
1. 4英寸亚克力材质全自动实验室匀胶机
2. 外型小巧，适合手套箱内操作
3. 耐腐蚀透明盖，恒定扭矩定位铰链
4. 一体开模内腔，易拆卸清洗，方便更换
5. 液晶文本显示彩色面膜按键，简单易用
6. 加减速度可控可调，可设置多步程序运行控制
7. 直流无刷电机，最大推荐旋涂尺寸：4寸圆形底物
工作原理
设备通过直流无刷电机驱动基片高速旋转，利用离心力将涂覆在基片上的溶液或胶体均匀铺展成薄膜。通过加减速度可控可调以及多步程序设置，实现对旋涂过程的精确控制，从而获得厚度均匀的薄膜涂层。
应用领域
高校教学实验、基础材料科研、光学薄膜、普通光刻胶涂布、微电子样品制备
操作步骤
1. 连接电源并开机，确保电源电压与设备兼容。
2. 将基片放置在真空托盘上，开启真空吸附。
3. 通过液晶显示屏设置旋涂参数，包括转速、时间、加速度等。
4. 如需多步程序，设置多段运行参数。
5. 启动旋涂程序，设备自动运行。
6. 旋涂结束后，关闭真空吸附，取出基片。
7. 清洁内腔，确保下次使用。
注意事项
- 使用110V电源外销工况时需更换真空泵。
- 无腔体加热功能，不适合需要加热的工艺。
- 仅适用于常规无强腐蚀体系的旋涂工艺，避免使用强腐蚀性溶液。
- 使用后应及时清洁内腔，防止残留物影响下次使用。
- 操作时确保基片固定牢固，避免飞片。
- 请遵循设备使用手册进行维护和操作。
