产品概述
SCK-EZ4-PTFE 聚四氟旋涂仪是采用聚四氟乙烯防腐腔体的设备,耐酸碱、抗化学腐蚀,适配各类腐蚀性药液涂布场景。设备搭载4.3英寸液晶屏,支持中英文切换与多段可编程程序,搭配高精度直流无刷电机,控速精准、匀胶均匀稳定,整机体积小巧、轻便易置。
产品特色
1. 采用聚四氟乙烯防腐腔体,耐酸碱、抗化学腐蚀。
2. 4.3英寸液晶屏,支持中英文切换与多段可编程程序。
3. 高精度直流无刷电机,控速精准、匀胶均匀稳定。
4. 透明防腐上盖,恒定扭矩定位铰链。
5. 一体开模内腔,易拆卸清洗,方便更换。
6. 液晶文本显示彩色面膜按键,简单易用。
7. 加减速度可控可调,可设置多步程序运行控制。
8. 最大推荐旋涂尺寸为4英寸圆形基片,标配多款真空托盘。
工作原理
设备通过高精度直流无刷电机驱动基片旋转,利用离心力使涂布液均匀铺展在基片表面,实现匀胶过程。程序控制可设置多步运行,加减速度可调,确保涂布均匀稳定。
应用领域
化工材料、腐蚀体系涂层、微电子、光电材料、高校科研实验
操作步骤
1. 将基片放置在真空托盘上,确保吸附牢固。
2. 通过液晶屏设置多段程序参数,包括转速、加减速度和运行时间。
3. 启动设备,开始旋涂过程。
4. 运行结束后,关闭设备并取出基片。
5. 清洁内腔和上盖,保持设备卫生。
注意事项
- 设备无腔体加热功能。
- 兼容110V/220V电源,外销110V工况需更换真空泵。
- 内腔可拆洗,维护便捷,但需确保安装到位。
- 最大推荐旋涂尺寸为4英寸圆形基片,避免超限使用。
- 操作时需佩戴防护手套,防止腐蚀性液体接触皮肤。