产品概述
SCK-VRC12-PP聚丙烯旋涂仪是一款采用PP防腐腔体的实验室设备，耐酸碱、抗化学腐蚀，适配腐蚀性药液旋涂工艺。设备搭载10.5英寸大屏液晶显示，支持中英文切换与多段程序设定，采用伺服电机驱动，控速精准、匀胶均匀、运行稳定，整机为一体式结构，配备恒扭矩铰链与侧边清洗排胶设计，维护简单。可选配0~200℃快速气体加热与正反转旋涂功能，最大支持12英寸大尺寸基片，支持多尺寸、异形卡盘及可调式自动注胶系统定制，工艺适配性广。
产品特色
1. PP材质腔体，全自动实验室匀胶机
2. 外型小巧，适合手套箱内操作
3. 与腔体材质相同上盖加恒扭矩铰链
4. 一体式设计，侧边清洗排胶
5. 液晶文本显示彩色面膜按键，简单易用
6. 加减速度可控可调，可设置多步程序运行控制
7. 伺服电机，最大旋涂尺寸为12寸圆形样品
工作原理
设备利用伺服电机驱动旋涂平台，通过程序设定控制旋转速度、加速度和时间，实现均匀涂覆。伺服电机控速精准，确保匀胶均匀，运行稳定，从而在基片表面形成厚度可控的薄膜。
应用领域
半导体湿法工艺、化学材料、新能源、光电薄膜、高校科研领域，特别适用于12英寸大尺寸基片的腐蚀性涂层、功能薄膜、特殊光刻工艺的样品研发与试制
操作步骤
1. 根据工艺需求选择并安装合适尺寸的基片卡盘
2. 通过10.5英寸大屏液晶显示设置中英文界面及多段程序参数（如速度、加速度、时间）
3. 启动设备，伺服电机驱动旋涂平台按程序运行
4. 可选配快速气体加热或正反转旋涂功能，根据工艺需求开启
5. 完成旋涂后，通过侧边清洗排胶功能进行清洁维护
注意事项
- 设备兼容110V/220V电源，外销110V工况需更换真空泵
- 使用前确保腔体PP材质无损伤，避免腐蚀性药液泄漏
- 定期清理侧边排胶口，防止残留物堵塞
- 选配气体加热时需注意温度设置不超过200℃，避免损坏设备
- 操作过程中避免接触旋转部件，防止意外伤害
