产品概述
SCK-VRC8-PTFE旋涂仪是一款采用聚四氟乙烯防腐腔体的全自动实验室匀胶机，整机为一体式结构，耐酸碱、抗腐蚀，可适配各类腐蚀性药液与化学涂层工艺。设备搭载7英寸液晶屏，支持中英文切换与多段程序设定，配合高精度直流无刷电机，运行稳定可靠；可选配快速加热与正反转旋涂模式，最大支持8英寸基片，满足精密薄膜制备需求。
产品特色
1. 采用聚四氟乙烯防腐腔体，上盖为相同材质并配备恒扭矩铰链。
2. 外型小巧，适合手套箱内操作。
3. 一体式设计，配备侧边清洗排胶，便于日常维护。
4. 7英寸液晶屏，彩色面膜按键，支持中英文切换与多段程序设定。
5. 加减速度可控可调，可设置多步程序运行控制。
6. 直流无刷电机，最大旋涂尺寸为8寸圆形样品。
7. 可选配0–200℃快速加热功能与正反转旋涂模式。
8. 支持多尺寸托盘、异形托盘及自动注胶系统定制，工艺灵活度高。
工作原理
高精度直流无刷电机驱动基片高速旋转，利用离心力将涂布于基片表面的药液或其他化学溶液均匀铺展成薄膜；设备通过多段程序设定精确控制旋转速度、加速度和时间，实现匀胶或旋涂工艺，其聚四氟乙烯腔体有效抵御各类酸碱性腐蚀性药液的侵蚀，保障工艺稳定性。
应用领域
微电子、半导体腐蚀工艺、化学薄膜、材料化工、光电科研、新能源材料、高校实验室、各类研发企业进行腐蚀性涂层、光刻胶、功能化学薄膜的样品制备与工艺研发
操作步骤
1. 准备基片和所需药液，将基片放置于设备托盘上。
2. 通过7英寸液晶屏选择或设置多段程序，调整转速、加速度及运行时间等参数。
3. 启动设备，直流无刷电机驱动基片按程序旋转，完成匀胶或旋涂。
4. 工艺完成后，通过侧边清洗排胶设计对腔体进行清洁维护。
5. 如使用外销110V电源，需先更换真空泵后再进行操作。
注意事项
- 设备兼容110V/220V电源，外销110V工况下需更换真空泵。
- 操作前应确保腔体及托盘清洁，避免异物影响涂布效果。
- 使用腐蚀性药液时，需确认腔体、管路等配件耐受性，严禁超范围使用。
- 定期检查电机、传动系统及侧边排胶系统，保障设备长期运行稳定。
- 加热功能选配件使用时，注意设定温度不超过0–200℃范围，并避免过热。
- 多段程序设定前应充分验证工艺参数，防止因参数错误导致样品报废或设备故障。
- 建议在手套箱内操作时，确保手套箱环境符合设备使用要求。
- 如遇设备异常或报警，应立即停止操作并参照手册排查问题。
