产品概述
SCK-VRC8-SS不锈钢旋涂仪采用不锈钢一体式腔体，坚固耐用、抗形变、易清洁，搭配恒扭矩铰链与侧边清洗排胶设计，日常维护便捷。设备配备7英寸液晶屏，支持中英文切换与多段程序运行，搭载高精度直流无刷电机，控速精准、匀胶质量稳定，可选配0~200℃快速气体加热功能，支持正反转旋涂工艺，最大适配8英寸基片，兼容110V/220V电源。
产品特色
1. 不锈钢腔体全自动实验室匀胶机，外形小巧，适合手套箱内操作。
2. 腔体材质相同上盖搭配恒扭矩铰链，一体式设计，侧边清洗排胶。
3. 液晶文本显示彩色面膜按键，简单易用。
4. 加减速度可控可调，可设置多步程序运行控制。
5. 直流无刷电机，最大旋涂尺寸为8寸圆形样品。
6. 可选配0~200℃快速气体加热功能，支持正反转旋涂工艺。
7. 支持多尺寸、异形卡盘及自动注胶系统定制，工艺拓展性强。
工作原理
该设备通过高精度直流无刷电机驱动基片旋转，利用离心力将涂覆材料均匀铺展在基片表面。用户可通过7英寸液晶屏设置多段程序，控制旋转速度、加速度和时间，实现精确的匀胶工艺。可选配的快速气体加热功能可在旋涂过程中或之后对基片进行加热，促进薄膜固化。
应用领域
精密微电子、半导体工艺、光学薄膜、高端光电材料、新材料研发、洁净实验室、企业小批量生产、高精度科研实验的涂层旋涂与加温成膜工艺
操作步骤
1. 将设备接通电源，确保电源稳定。
2. 按需安装适配的基片卡盘。
3. 将基片放置在卡盘上，通过真空吸附固定。
4. 在基片表面滴涂所需材料。
5. 通过7英寸液晶屏设置旋涂程序，包括转速、时间、加减速度等参数。
6. 启动设备运行程序。
7. 旋涂完成后，待设备停止，关闭真空，取下基片。
8. 如需加热，可启用选配的气体加热功能进行加温成膜。
9. 使用后清洁腔体。
注意事项
- 设备外销110V使用时需更换真空泵。
- 操作前请确保基片卡盘安装牢固。
- 真空吸附时注意检查气路连接，确保密封良好。
- 使用加热功能时注意温度设定，防止过热损伤基片或设备。
- 定期清洁腔体，避免残留材料影响下次使用。
- 仅使用适配的电源电压，避免过压损坏。
- 维护和清洁时务必断开电源。
- 禁止在设备运行时触摸旋转部件。
