产品概述
SCK-VRC6-SS不锈钢旋涂仪采用高品质不锈钢一体式腔体，结构坚固耐磨、洁净度高、不易腐蚀，搭配恒扭矩铰链与侧边清洗排胶结构。设备搭载5英寸液晶屏，支持中英文切换与多段程序编辑，采用直流无刷电机驱动，转速控制精准，最大支持6英寸基片加工，可选配快速气体加热功能和可调式自动注胶系统，工艺灵活度高。
产品特色
1. 不锈钢材质腔体全自动实验室匀胶机。
2. 外型小巧，适合手套箱内操作。
3. 与腔体材质相同上盖加恒扭矩铰链，一体式设计，侧边清洗排胶。
4. 液晶文本显示彩色面膜按键，简单易用。
5. 加减速度可控可调，可设置多步程序运行控制。
6. 直流无刷电机，最大旋涂尺寸为6寸圆形样品。
工作原理
设备通过直流无刷电机驱动基片旋转，利用离心力将涂布液均匀铺展在基片表面，形成薄膜。支持正反转旋涂，可设置多段程序精确控制转速、加速度和时间，实现高精度匀胶。
应用领域
精密微电子、半导体、光学薄膜、光电材料、新材料研发、洁净实验室、科研院所、精密制造企业
操作步骤
1. 将基片放置在托盘上并固定。
2. 在液晶屏上选择或编辑旋涂程序，设置转速、时间等参数。
3. 启动设备，通过注胶系统或手动方式涂布液体。
4. 设备自动运行程序，完成旋涂。
5. 旋涂结束后，取出基片，清洗腔体。
注意事项
- 设备兼容110V/220V电压，外销110V工况需更换真空泵。
- 适用于无强腐蚀工艺场景，避免使用腐蚀性液体。
- 维护时注意清洁侧边排胶结构，保持密封性。
- 操作前确保基片和托盘固定牢固，避免旋转中脱落。
