产品概述
SCK-VRC8-SSHT 不锈钢加热旋涂仪采用一体式不锈钢腔体,结实耐用、易清洁,配备 7 英寸显示屏,支持中英文切换和多段程序运行。搭载直流无刷电机,转速稳定,匀胶均匀精准,可加装 0-200℃气体加热功能,升降温速度快,支持正反转旋涂,满足加热固化涂布工艺。
产品特色
1. 不锈钢腔体(加热款)全自动实验室匀胶机
2. 外型小巧,适合手套箱内操作
3. 与腔体材质相同上盖+恒扭矩铰链
4. 一体式设计,侧边清洗排胶
5. 液晶文本显示彩色面膜按键,简单易用
6. 加减速度可控可调,可设置多步程序运行控制
7. 直流无刷电机,最大旋涂尺寸:8寸圆形样品
工作原理
设备利用直流无刷电机驱动基片以稳定转速旋转,通过离心力使涂布液均匀铺展在基片表面,形成薄膜。可加装的气体加热功能通过快速升降温控制温度,支持正反转旋涂,实现加热固化工艺。多段程序控制可调节加减速度和运行步骤,确保匀胶效果精准一致。
应用领域
半导体、微电子、光学镀膜、光电材料、新能源材料等行业,适用于精密涂层、光刻胶薄膜的旋涂、加温固化、样品研发与小批量制备
操作步骤
1. 将设备放置在平稳台面上,连接电源
2. 打开电源开关,7英寸显示屏亮起
3. 根据需要选择中文或英文界面
4. 设置多段程序参数,包括转速、加减速度、运行时间等
5. 将基片放置于设备托盘上
6. 关闭上盖,恒扭矩铰链确保密封
7. 启动设备,运行程序完成旋涂
8. 如需加热功能,设置温度并开启气体加热
9. 运行结束后,打开上盖取出基片
10. 利用侧边排胶结构进行清理维护
注意事项
- 使用前确保设备放置平稳
- 避免在设备上放置重物或液体
- 操作时遵循设置的程序参数,不要超限运行
- 加热功能使用时注意气流流向和温度控制
- 清洗时使用合适的清洁剂,避免损坏不锈钢腔体
- 如安装托盘或自动注胶装置,需按说明正确操作
- 定期检查铰链、电机等部件的运行状态
- 设备闲置时关闭电源并清洁存放