GB/T 18867-2025《电子气体 六氟化硫》规定了电子工业用高纯六氟化硫气体的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和安全要求。该标准适用于在电力设备、半导体制造等领域中使用的六氟化硫气体，对其纯度、杂质含量（包括水分、酸度等）及检测方法做出了明确规定。
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| 实行状态 | 现行 | ||
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| 中国标准分类号（CCS） | G86 | 国际标准分类号（ICS） | 71.100.20 |
| 发布日期 | 2025-04-25 00:00:00 | 实施日期 | 2025-11-01 00:00:00 |