产品概述
英佳匀胶机（型号：12Ac-8/伺服）包含单头、多头，单速、多速等系列产品，满足客户不同需求。该设备主要用于光刻胶涂布、涂硼等工艺过程，具有匀胶效率高、使用方便、电机转矩大、运转平稳、电器线路可靠等特点，其匀胶速度和时间分多个时段并可无级调节。吸片采用电磁阀控制气路，适合流水线工艺，一个气泵可同时带动多台匀胶机工作，提高了效率。
产品特色
1、匀胶效率高，使用方便。
2、匀胶速度、时间分多个时段，并可分别无级调节。
3、电器线路可靠，电机运转平稳，转矩大。
4、吸片采用电磁阀控制气路，适合流水线工艺，一个气泵可同时带动多台设备工作，提高效率。
工作原理
匀胶机通过真空吸盘固定基片，电机驱动吸盘高速旋转，利用离心力将滴在基片中心的光刻胶均匀涂布在基片表面。其匀胶过程可通过程序控制，实现多段速度和时间调节，确保涂布均匀性。
操作步骤
1、接通外部真空管路系统，打开真空泵。
2、按下较大红色电源按钮，屏幕显示初始画面后，按下（程序组）按钮选择A01-A12，画面回到运行页面。
3、将基片放于吸盘中心，打开红色真空开关检查是否吸牢（严禁对小于吸盘抽气槽外圆的基片涂胶）。将适量光刻胶滴于基片中心，按下绿色匀胶开关（有异常可按一下绿色按钮停止）。等待电机停止后，关闭真空、取片。
4、根据光刻胶粘度和环境温度选择适当转速，匀胶时间一般在5~20秒之间。
5、将匀过胶的玻璃片立放在玻璃卡盘上放入金属盒，根据胶的要求放入温箱进行前烘（一般光刻胶前烘温度90℃30分钟）。
6、匀胶机必须关闭上盖后启动，转动时严禁用手触摸。用手抓吸盘可能导致设备保护，需返厂处理。
注意事项
• 严禁对小于吸盘抽气槽外圆的基片涂胶。
• 匀胶机必须关闭上盖后启动。
• 匀胶机转动时严禁用手触摸吸盘。
• 用手抓匀胶机吸盘可能导致设备保护，需返厂处理。
• 根据光刻胶粘度和工作环境温度选择适当转速。
• 操作前确保基片被真空吸牢。
