GB/T 26250-2025《电子气体 砷化氢》规定了电子工业用特种气体砷化氢的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输及贮存等。该标准属于高纯电子气体产品规范,其涵盖的纯度及各项杂质(包括水分)含量是确保其满足半导体等电子工业应用要求的关键指标。
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| 实行状态 | 现行 | ||
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| 中国标准分类号(CCS) | G86 | 国际标准分类号(ICS) | 71.100.20 |
| 发布日期 | 2025-04-25 00:00:00 | 实施日期 | 2025-11-01 00:00:00 |
