GB/T 42789-2023规定了使用特定角度（如75°）光泽度计测试抛光硅片表面光泽度的方法，通过测量硅片对光的镜向反射能力来表征其表面平坦度和抛光质量，用于半导体工业的工艺控制。
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| 实行状态 | 现行 | ||
|---|---|---|---|
| 中国标准分类号（CCS） | H21 | 国际标准分类号（ICS） | 77.040 |
| 发布日期 | 2023-08-06 00:00:00 | 实施日期 | 2024-03-01 00:00:00 |
GB/T 42789-2023规定了使用特定角度（如75°）光泽度计测试抛光硅片表面光泽度的方法，通过测量硅片对光的镜向反射能力来表征其表面平坦度和抛光质量，用于半导体工业的工艺控制。
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| 中国标准分类号（CCS） | H21 | 国际标准分类号（ICS） | 77.040 |
| 发布日期 | 2023-08-06 00:00:00 | 实施日期 | 2024-03-01 00:00:00 |
