这份标准为高纯度一氧化二氮在电子工业中的应用确立了规范。它主要规定了此类电子气体的产品技术要求、统一的采样方法、详细的检验规则以及包装、运输和贮存条件,并描述了关键指标的试验方法。在检测层面,标准中涉及对一氧化二氮纯度及杂质的分析,这通常需要借助专门的气体分析仪器,例如采用非色散红外、气体滤波相关或激光等技术的高精度一氧化二氮分析仪来完成。该标准旨在确保用于半导体制造等领域的电子气体具备可靠且一致的质量。
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| 实行状态 | 现行 | ||
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| 中国标准分类号(CCS) | G86 | 国际标准分类号(ICS) | 71.100.20 |
| 发布日期 | 2025-04-25 00:00:00 | 实施日期 | 2025-11-01 00:00:00 |
