GB/T 41852-2022 规定了 MEMS 微结构与衬底间黏结强度的弯曲和剪切试验方法，适用于宽度和厚度 1μm~1mm 的微尺寸单元测试。标准采用柱状试样，通过分别施加弯曲或剪切应力，测量分层时的最大载荷以计算黏结强度，核心用到微力测试系统、位移执行器、对准装置及数据记录仪等仪器。试验需控制刀刃接触角和试样长径比，保证加载方向精准，为 MEMS 器件材料选型、工艺优化及质量管控提供统一技术依据。
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| 实行状态 | 现行 | ||
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| 中国标准分类号（CCS） | L55 | 国际标准分类号（ICS） | 31.080.99 |
| 发布日期 | 2022-10-12 00:00:00 | 实施日期 | 2022-10-12 00:00:00 |
