采用1mm真空孔径与18mm孔距设计,配备176个吸附孔,确保底材平整固定,配合150W真空泵实现稳定吸附效果。
匀胶时间达3000秒,转速范围100至10000rpm,加速度100-10000rpm/s,支持真空吸附和电磁阀控制气路,适合流水线工艺。
采用PTFE泵头材料和涂层膜片,适用于强腐蚀性气体,抽速20L/min,极限真空度3~8mbar,具备卸压和清洗功能,气密性良好且噪音低于58dB。
匀胶时间达3000秒,转速范围100-10000rpm,加速度100-10000rpm/s,支持多段程序控制,真空吸附确保基片稳定,适合流水线工艺。
采用聚四氟腔体提供优良耐腐蚀性,支持最高200℃加热和8英寸基片处理,配备真空传感器确保可靠吸片,加速度范围100~5000rpm/s实现精确涂覆控制。
采用PTFE泵头材料和PTFE涂层膜片,适用于强腐蚀性气体和蒸汽,抽速达40L/min,极限真空度3~8mbar,具备卸压和清洗功能,噪音低于58dB。
匀胶时间0-240秒可调,转速范围100-7000rpm,四段速度控制器确保涂覆均匀性,电磁阀控制气路适合流水线工艺,电机转矩大运转平稳。
采用可调式刮刀涂布,涂布厚度范围0~10mm可调,涂布速率5~200mm/s,具有底板加热和真空吸附功能,提高涂膜重现性和操作便捷性。
配备加热真空床,温度可达100℃,涂布速率范围0.1~500mm/s,行程415mm,支持多种涂膜工具,智能界面简化操作。
长方形真空室提高空间利用率,真空度达133Pa,配备双层钢化玻璃门便于观察,支持程序控制加热和真空保持时间,提升处理一致性。
匀胶速度100~7000rpm可调,时间分多段无级调节,电磁阀控制气路适合流水线工艺,电机转矩大运转平稳,真空吸附确保基片稳定。