该标准规定了一种破坏性试验方法,用于测定在规定频率范围内,振动对半导体器件(尤其是有空腔的器件)的影响。其原理是使用振动装置对器件施加沿三个轴向、频率在20Hz至2000Hz范围内对数变化的简谐振动。该试验所需的核心检测仪器为扫频振动试验系统,并需配合试验后进行检查所用的光学设备(如显微镜)和电气测量设备来完成完整评估。
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| 实行状态 | 现行 | ||
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| 中国标准分类号(CCS) | L40 | 国际标准分类号(ICS) | 31.080.01 |
| 发布日期 | 2018-09-17 00:00:00 | 实施日期 | 2019-01-01 00:00:00 |
