GB/T 42674-2023《光学功能薄膜 微结构厚度测试方法》规定了采用扫描电子显微镜（SEM）测定光学功能薄膜横截面微结构厚度的方法，适用于厚度不小于 50nm 的单层或多层结构薄膜。检测需使用分辨率小于 50nm 的 SEM，搭配不确定度误差小于 5% 的台置测微标尺校准放大倍数。样品经切割、研磨、抛光等预处理后，通过 SEM 观测横截面，结合 EDS 线扫描或背散技术辅助区分界面，按规范选取放大倍率测量，为薄膜质量控制和性能评估提供精准数据。
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| 实行状态 | 现行 | ||
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| 中国标准分类号（CCS） | G15 | 国际标准分类号（ICS） | 71.080.99 |
| 发布日期 | 2023-08-06 00:00:00 | 实施日期 | 2024-03-01 00:00:00 |
